如何查找不同工艺下的参数？ - EE版 - 未名存档

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EE版 - 如何查找不同工艺下的参数？

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i******g
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1

例如 SOI 130nm 或者90nm下，metal的长宽高等尺寸？（更小工艺的，不敢奢求）
itrs的数据太多，看着好乱阿，而且还不是SOI的。
望请指点，不胜感激

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