UV exposure station setup - EE版 - 未名存档

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EE版 - UV exposure station setup

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h*****n 发帖数: 49	1 Reseach需要做lithography，因为我们alignment的要求很低，我自己想set up一个 UV exposure station。我觉得应该就是需要个紫外灯和一个支撑的架子。不知道那位大侠有经验，可以推荐一下灯的型号和哪里去买挂灯的架子。多谢！
s******l 发帖数: 212	2 千万别！光束质量不好，光刻效果很差。我记得以前买过一个很差的曝光系统，几千块，就一光源，一个屏蔽的塑料壳，我忘记是那个公司，那个也不好，可以比拟自己做的强!
s******l 发帖数: 212	3 有点类是这个咚咚！ http://equipment.loctite.com/productDetail.cfm?productID=98039&productLine=Light%20Curing%20Equipment%20&pl=19&categoryID=237&category=UV%20enclosed%20chambers%20and%20conveyors&subcategoryId=309&subcategory=UV%20Enclosed%20Chambers 估计你能找到更好的！
s******l 发帖数: 212	4 灯，你可以查其他大公司的曝光系统用的灯，我以前买过，几百块。你买透镜要处理光束就有点贵了，应为都是紫外。架子随便在什么thorlab， edmundoptics 买点就可注意保护自己，别搞出皮肤癌。
b*******h 发帖数: 2585	5 现在美国很多小foundry,都是一堆旧仪器, 有的其实就是依托大学实验室,做这个应该不贵. 只要让他们签保密协议书.

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