d*******2
发帖数: 340 | 1 在维基上看到的shipley光刻胶最小分辨率一般是500nm，请问如果需要更小的分辨率得
用别的光刻胶吗？
先谢了！ |
c******k
发帖数: 1140 | 2 一般光刻胶的最小分辨率就是0.5um.
需要更小的分辨率，光刻胶是做不到了，得用电子束敏感得光刻胶了
【在 d*******2 的大作中提到】
: 在维基上看到的shipley光刻胶最小分辨率一般是500nm，请问如果需要更小的分辨率得
: 用别的光刻胶吗？
: 先谢了！
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l*******e
发帖数: 1485 | 3 这个其实跟光源波长有关吧。光源一般也就小到200nm，普通光刻也就刻1微米，EUV刻
到500nm，但用干涉光刻(interference lithography)仍能刻出200nm宽的光栅来。 |
m*******e
发帖数: 639 | 4 Yes, it really depends on the wavelength of the light source.
Intel already showed some results beyond that limitation.
【在 l*******e 的大作中提到】
: 这个其实跟光源波长有关吧。光源一般也就小到200nm，普通光刻也就刻1微米，EUV刻
: 到500nm，但用干涉光刻(interference lithography)仍能刻出200nm宽的光栅来。
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