i*****e
发帖数: 633 | 1 实验里发现一个有趣的现象，就是两层thin film长在一起，如果upper thinfilm上开
一些10 x 10 um的方形窗口阵列（就是窗口里上膜被etched了，下膜被露出），经过简
单的热处理，上膜的某些特定的地方会穿孔，自己形成一些纳米的小洞，排成一套新的
小孔阵列。
我认为两层膜之间有strain，上膜的窗口阵列造成了这个strain形成了pattern，导致
strain集中在特定的地方，从而那些地方格外脆弱，很容易被热处理剥蚀掉。
这里有人会做strain simulation吗？如果感兴趣这个topic，可以留言或者站内联系吗
？谢谢。 |
N**E
发帖数: 596 | 2 应该是下膜穿孔吧? 那些洞大小如何，规则么？两层膜的膨胀系数差别如何？这个模拟
我觉得不是太麻烦。 |
b*******h
发帖数: 2585 | 3 这里不少人都干过类似的事情吧，我就干过。不过是厚膜， 微米级别的
经常确实是这两层膜之间本来就有应力。利用应力加速腐蚀是半导体工艺里常用的
不过薄膜的一些性质， 没有办法简单套用bulk的数据， 而且有的薄膜
也没有人做成bulk。 需要一些估计。
一般可以先用仪器确认一下，在腐蚀窗口之前之后用激光应力计测一下应力。如果有很大差别。 就八九 不利十了。模拟建模。只是为了给工艺试验设计提供更多指导。 |
c***r
发帖数: 1570 | |
i*****e
发帖数: 633 | |
e*******n
发帖数: 323 | 6 成功几率<%5。
【在 c***r 的大作中提到】
: 有限元-membrane单元-
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